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機械真空泵為一種變容式氣體傳輸泵,當工作室的容積變得最小時,即與真空泵的入氣管連通,于是氣體就進入逐漸變大的工作室空間;當工作室的容積擴大時,即與入氣管分開
目前用油做工作介質或潤滑的獲得高真空的真空泵主要是由蒸汽流泵、分子泵,油蒸汽流泵是以油作為工作介質,獲得中真空和高真空的主要泵
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